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October 30, 2020

集積回路工業への静電気の害

最初に、ESA (電子静的な魅力)の静電気の吸着、それにより深刻な汚染を引き起こす。
私達はICの工程がきれいな研修会かultra-clean研修会を要求することがわかる。但し、少数の国内製造業者はクリーン ルームに粒子がないこと達成できる。吸着されたほこりの粒度が線幅より大きければほこりの粒度が元の0.3μmから現在の0.1μmまで減る、プロダクトを捨てることは容易である今度はことが要求される。
時々顧客は、私達したウエファーを作り出す全プロセスの静電気の保護のよい仕事を頼む。私達はすべての基づいている装置を接続し、帯電防止装置を使用し、浄化のレベルはまた高い。私達はなぜそれをしばらく残すか。それはまだ灰をその後吸うか。それは作り出すプロセス ウエファー装備されている機械か研修会がFFUの高性能フィルターがのであり。気流がプロダクトに対して摩擦する場合、静電気は発生する。静電気はある程度に集まる場合、塵を引き付ける。従って、私達は全体のスペースの動的バランスを保障するために高性能フィルターの底に空気源なしに静的なエリミネーターを取付けることを提案する。


2番目に、ESD (電子静電気放電)の静電放電、それにより装置故障を引き起こす。
静電放電は充満蓄積のプロセスである。充満がある特定のレベルに集まる場合、コンダクターがそれに近づく場合、静電放電は見られる。簡単な例を、乾燥した冬に与えるためには、人々は歩き、摩擦の後で容易に静電気を集めることができる。私達が金属のハンドルに触れるか、または車のドアを開ける場合、私達は感電を感じる。これは静電放電である。通常静電気が5000Vいつ、人体に3000がそこにである明らかな排出の感じある。
同じは半導体の部品にあてはまる。ある程度の静電気の半導体デバイスが単独でまたは回路モジュールに置かれれば、すぐに破壊される。装置は静電放電によって影響された後、機能的にすぐに損なわれる部品の信頼性に影響を与える。


静電放電によって引き起こされる損失はドルの年十億に達することができる。従って、多くの大規模な部品および設備製造業者は生産環境の静電気の蓄積を減らすために専門の技術をもたらす。
3番目に、EMI (電子磁気干渉)の電子妨害、それは損害を与える。
静電放電は多くの電波を放射し、これらの電波に周囲マイクロプロセッサに大きい干渉を、無秩序プログラム指示、無秩序データ、未知のエラー メッセージ、等のような引き起こす、これらの問題は一般に、機能不全が起これば、である巨大持って来る害真剣に取られない頻度があり。

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